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產品簡介
SIMCO思美高超凈環境MP 5V 離子發生器，調制脈沖反饋控制AeroBar®Simco-Ion, Technology Group的 最新Modulated Pulse (MP) Technology電離棒現在可以通過Novx系統和Novx Inside版本進行主動監控和反饋控制。
SIMCO思美高超凈環境MP 5V 離子發生器
Simco-Ion, Technology Group的 Modulated Pulse (MP) Technology電離棒現在可以通過Novx系統和Novx Inside版本進行主動監控和反饋控制。5645 MP棒專為半導體后端封裝和測試應用以及前端需要超清潔環境的應用而設計，具有快速放電時間、低擺動電壓和精確平衡的行業平衡電離性能。這項技術使AeroBar能夠在離晶圓150毫米以內安裝。
當與Novx System或Novx Inside安裝時，監控和反饋控制，5645可以比±5V更好地保持精確平衡。該條桿可以輕松調整和微調電壓、頻率和平衡，以滿足環境和產品敏感度要求。5645 MP條桿有14種長度可供選擇，從350-2350毫米。
±5V 與 Novx 系統或 Novx Inside 版本
ISO 14644-1 3級
集中化電力和控制，使用廣泛可調的MP控制軟件
傳感器輸入、FMS連接、報警、電源和通信位于酒吧的同一端。
SIMCO思美高超凈環境MP 5V 離子發生器
| 電壓 | 輸入：24 VDC ±10%，0.7A（最大） 輸出：13.5 kV 峰峰值（最大） |
|---|---|
| 排放 | 15秒（典型）在距AeroBar中心24英寸處測量，無氣動輔助 |
| 余額 | <±5V，Novx系統或Novx內部；<±20V，獨立式 |
| 離子發射 | 調制脈沖 (MP) 技術 |
| 發射器 | 鈦 |
| 潔凈室等級 | ISO 14644-1 3級 |
| 維度 | 3.1英寸高 x 1.3英寸寬 x 13.8 / 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5英寸長 (7.8 x 3.4 x 35 / 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米) |
半導體后端制造工藝
晶圓探針 | 芯片粘接 | 切丁
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