




產品簡介
SIMCO思美高進程監控器Novx 系列離子發生器,在工作站和工藝環境中監測關鍵靜電參數Simco-Ion, Technology Group的 Novx Series 7000 過程監控系統是一款多用途的基于微處理器的儀器,用于在工作站和過程中監測關鍵的靜電相關參數。
SIMCO思美高進程監控器Novx 系列離子發生器
Simco-Ion, Technology Group的 Novx Series 7000 過程監控系統是一款多用途的基于微處理器的儀器,用于在工作站和過程中監測關鍵的靜電相關參數。六個專用通道定制了該儀器用于監測場電壓檢測/離子發生器平衡、ESD事件、人體電壓檢測或接地監控和粒子計數。
智能信號處理
多種傳感器和天線款式
雛菊鏈式;RS-485或以太網輸出
ESD事件檢測跟蹤
三種現場電壓監測選項
用戶可編程的報警設定點和自動消息通知
閉-loop控制到工具計算機
插件模塊允許工廠升級
SIMCO思美高進程監控器Novx 系列離子發生器
| 現場感知 | |
|---|---|
| 輸入電壓 | ±15 - ±5000V |
| 輸出電壓 | 0 - ±5.0 |
| 準確性 | ±1V 用于 <20V;±5% 用于 >20V |
| ESD事件檢測 | CDM / HBM |
| 粒子計數器界面 | 數據采集 |
| 身體電壓 檢測 | |
| 施加電壓 | <0.5V |
| 準確性 | ±0.5V |
| 接地監測 | |
| 范圍 | 1-20 歐姆 |
| 施加電壓 | <0.5V |
| 準確性 | 0.5 歐姆 |
| 一般 | |
| 維度 | 2.7英寸寬 x 7英寸高 x 5.5英寸深 (6.9 x 17.8 x 14 厘米) |
| 重量 | 2.5 磅(1.4 公斤) |







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