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SIMCO思美高M(jìn)P 5V 離子發(fā)生器超凈環(huán)境用,調(diào)制脈沖反饋控制AeroBar®Simco-Ion, Technology Group的 最新Modulated Pulse (MP) Technology電離棒現(xiàn)在可以通過(guò)Novx系統(tǒng)和Novx Inside版本進(jìn)行主動(dòng)監(jiān)控和反饋控制。
產(chǎn)品分類(lèi)
SIMCO思美高M(jìn)P 5V 離子發(fā)生器超凈環(huán)境用
Simco-Ion, Technology Group的 Modulated Pulse (MP) Technology電離棒現(xiàn)在可以通過(guò)Novx系統(tǒng)和Novx Inside版本進(jìn)行主動(dòng)監(jiān)控和反饋控制。5645 MP棒專(zhuān)為半導(dǎo)體后端封裝和測(cè)試應(yīng)用以及前端需要超清潔環(huán)境的應(yīng)用而設(shè)計(jì),具有快速放電時(shí)間、低擺動(dòng)電壓和精確平衡的行業(yè)平衡電離性能。這項(xiàng)技術(shù)使AeroBar能夠在離晶圓150毫米以內(nèi)安裝。
當(dāng)與Novx System或Novx Inside安裝時(shí),監(jiān)控和反饋控制,5645可以比±5V更好地保持精確平衡。該條桿可以輕松調(diào)整和微調(diào)電壓、頻率和平衡,以滿足環(huán)境和產(chǎn)品敏感度要求。5645 MP條桿有14種長(zhǎng)度可供選擇,從350-2350毫米。
±5V 與 Novx 系統(tǒng)或 Novx Inside 版本
ISO 14644-1 3級(jí)
集中化電力和控制,使用廣泛可調(diào)的MP控制軟件
傳感器輸入、FMS連接、報(bào)警、電源和通信位于酒吧的同一端。
SIMCO思美高M(jìn)P 5V 離子發(fā)生器超凈環(huán)境用
| 電壓 | 輸入:24 VDC ±10%,0.7A 輸出:13.5 kV 峰峰值 |
|---|---|
| 排放 | 15秒(典型)在距AeroBar中心24英寸處測(cè)量,無(wú)氣動(dòng)輔助 |
| 余額 | <±5V,Novx系統(tǒng)或Novx內(nèi)置;<±20V,獨(dú)立式 |
| 離子發(fā)射 | 調(diào)制脈沖 (MP) 技術(shù) |
| 發(fā)射器 | 鈦 |
| 潔凈室等級(jí) | ISO 14644-1 3級(jí) |
| 維度 | 3.1英寸高 x 1.3英寸寬 x 13.8 / 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5英寸長(zhǎng) (7.8 x 3.4 x 35 / 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米) |









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