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產品簡介
日本FLUORO福樂氟橡膠小型真空泵，電磁驅動因此機械磨損和接觸很少，幾乎不需要維護，并且可以使用直到隔膜耐久理論值的長壽命類型。在進氣和排氣部分安裝HEPA過濾器。也可以在潔凈室內使用。此外，過濾器可以通過機身透明窗進行目視檢查，因此可以掌握更換時間。（FV-10除外）
日本FLUORO福樂氟橡膠小型真空泵
通過在封閉空間內設置隔膜，實現多級減壓的結構，因此在緊湊的機身中實現了高真空壓力。（FV-10除外）
電磁驅動因此機械磨損和接觸很少，幾乎不需要維護，并且可以使用直到隔膜耐久理論值的長壽命類型。
在進氣和排氣部分安裝HEPA過濾器。也可以在潔凈室內使用。
此外，過濾器可以通過機身透明窗進行目視檢查，因此可以掌握更換時間。（FV-10除外）
由于結構上是封閉的車身，所以運行聲音也很安靜。
另外，與電機相比，沒有機械接觸聲，保持了靜音性。
由于不需要壓縮機等空氣源，只要有100V電源就可以在任何地方使用。
此外，與我公司的真空鑷子結合使用，用途也會更加廣泛。
由于結構簡化，與同等的真空泵相比，保證了更高的可靠性和更長的使用壽命以及更低的能耗。
此外，主體價格也已降至實惠的水平。
日本FLUORO福樂氟橡膠小型真空泵
由于高音材料制成的容器中存放，所以運行聲音也很安靜。此外，與電機式相比，沒有機械接觸聲音，保持了靜音性。
通過調諧器可以改變磁石和電容之間的距離，從而調整壓力的強弱。
排氣部裝有毛氈制成的過濾器。
處理范圍從自重掉落的物品到相當于硅片的4英寸。
管子，可以使用 Φ3×5 和 Φ4×6 的尺寸。
附屬的管子是Φ3×5。
通過在封閉空間內設置隔膜，實現兩級減壓，并且結構并聯，從而實現了比FV-10更高的真空壓力。
在進氣和排氣部分安裝HEPA過濾器。也可以在潔凈室內使用。此外，過濾器可以通過本體透明窗進行目視檢查，因此可以掌握更換時間。
處理范圍從自重掉落的物品到6英寸的硅晶圓。
管子，可以使用 Φ3×5 和 Φ4×6 的尺寸。
附屬的管子是Φ3×5。
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