




產(chǎn)品簡(jiǎn)介
美國SIMCO思美高工具內(nèi)離子發(fā)生器,潔凈室兼容高離子輸出以實(shí)現(xiàn)快速中性化Simco-Ion, 技術(shù)集團(tuán)的 Model 5225數(shù)字氣動(dòng)棒,帶有軟件控制,旨在滿足工具內(nèi)離子化的苛刻要求。通過高離子輸出快速中和晶圓上的電荷,可在最-嚴(yán)格的水平上實(shí)現(xiàn)E78合規(guī)性。
產(chǎn)品分類
美國SIMCO思美高工具內(nèi)離子發(fā)生器
Simco-Ion, 技術(shù)集團(tuán)的 Model 5225數(shù)字氣動(dòng)棒,帶有軟件控制,旨在滿足工具內(nèi)離子化的苛刻要求。通過高離子輸出快速中和晶圓上的電荷,可在最-嚴(yán)格的水平上實(shí)現(xiàn)E78合規(guī)性。
完-全集成到工具控制系統(tǒng)
每個(gè)AeroBar的參數(shù)均可完-全調(diào)整
離子電流監(jiān)測(cè)
有多種長度可供選擇,包括3種特別為EFEM設(shè)計(jì)的。
單晶硅發(fā)射點(diǎn)
接口模塊型號(hào) 5200-IM6T
支持并供電至6個(gè)AeroBar Model 5225離子發(fā)生器,F(xiàn)MS輸出。
美國SIMCO思美高工具內(nèi)離子發(fā)生器
| AeroBar 5225 | |
|---|---|
| 電壓 | 輸入:24伏交流電,50/60赫茲,1瓦(典型);由接口模塊型號(hào)5200-IM6T供電 輸出:0-20千伏直流電,每個(gè)極性在單獨(dú)的AeroBar上可±10%;正或負(fù)輸出電平可以通過GUI分別調(diào)整 |
| 離子發(fā)射 | 脈沖直流電、穩(wěn)態(tài)直流電或備用 |
| 發(fā)射器 | 單晶硅,可更換 |
| 潔凈室等級(jí) | ISO 14644-1 Class 1(單晶硅發(fā)射極) ISO 14644-1 Class 3(鈦發(fā)射極) |
| 維度 | 2.1英寸高 x 1.2英寸寬 x 22.4 / 28.4 / 35.7 / 44.4 / 55.6 / 64.4 / 75.5 / 84.4英寸長 (5.3 x 3.1 x 56.9 / 72.1 / 90.7 / 112.8 / 141.2, 163.6 / 191.8 / 214.4 厘米) |
| 重量 | 1.13 磅(0.51 公斤)用于 22 英寸(55.9 厘米)的桿(每增加 1 英尺/0.17 公斤每增加 30.5 厘米) |
| 接口模塊 型號(hào) 5200-IM6T | |
| 輸入電壓 | 24 伏直流電,1.0安,±5% |
| 容量 | 連接最多六個(gè)Model 5225航空酒吧 |
| LED 指示燈 | 綠色電源開啟,黃色通信,紅色報(bào)警 |
| 維度 | 2.76英寸高 x 2.88英寸寬 x 12.4英寸長(7.01 x 7.32 x 31.5厘米)帶法蘭 |
| 重量 | 2.6 磅(1.18 公斤) |






掃碼加微信,了解最新動(dòng)態(tài)

Copyright © 2025 成都一子沫科技有限公司版權(quán)所有
技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng) 管理登錄 備案號(hào):蜀ICP備2024103393號(hào)-2 sitemap.xml
日本MUSASHI武藏
Supmea美儀
日本HONDA本多
ATTEN安泰信
英國MEECH密其
公司簡(jiǎn)介
企業(yè)文化
榮譽(yù)資質(zhì)
聯(lián)系我們