Simco-Ion的最-新Modulated Pulse (MP) Technology離子化棒現(xiàn)在可以通過Novx系統(tǒng)和Novx Inside版本實(shí)現(xiàn)主動監(jiān)控和反饋控制。5645 MP棒專為半導(dǎo)體后端先-進(jìn)封裝和測試應(yīng)用以及前端需要超清潔環(huán)境的應(yīng)用而設(shè)計(jì)，具有快速放電時(shí)間、低擺動電壓和精確平衡的行業(yè)領(lǐng)-先平衡離子化性能。這項(xiàng)先-進(jìn)技術(shù)使AeroBar能夠在離晶圓150毫米內(nèi)安裝。精度調(diào)整結(jié)合超清潔的硅發(fā)射點(diǎn)，5645 MP棒超過ISO 14644-1 Class 1的清潔度，并滿足ISO Class 1擴(kuò)展水平的顆粒物要求，小至10納米。 

當(dāng)與Novx System或Novx Inside安裝時(shí)，監(jiān)控和反饋控制，5645可以比±5V更好地保持精確平衡。該條桿可以輕松調(diào)整和微調(diào)電壓、頻率和平衡，以滿足環(huán)境和產(chǎn)品敏感度要求。5645 MP條桿有14種長度可供選擇，從350-2350毫米。

• ±5V 帶 Novx 監(jiān)控和反饋 系統(tǒng)

• 硅晶片：ISO 14644-1 1級和擴(kuò)展ISO 1級
  鈦：ISO 14644-1 3級 

• 集中化電力和控制，使用廣泛可調(diào)的MP控制軟件

• 傳感器輸入、FMS連接、報(bào)警、電源和通信位于酒吧的同一端。