19938108760
產品簡介
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測儀，XP-703DⅢ半導體材料氣體檢測
產品分類
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測儀
檢測對象
檢測濃度
檢測原理
采樣方式
應用行業
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測儀
產品描述：半導體材料氣體檢測
可檢測微量的半導體材料氣體泄漏，可對半導體工廠等使用毒性氣體的場所進行泄漏檢測，
也可對氫氣相關設備提供安全保障。
01.產品特點
· 小型·輕量
· 可以檢查非常微量的氣體泄漏
· 適合氫氣相關設備的安全防護
· 搭載的泵有自動停止功能
· 搭載[自動氣體排氣模式]功能
· 保護等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時
02.產品用途
· 半導體工廠/石油化學工廠等
· 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
03.產品參數
| 型號 | XP-703DⅢ | ||||
| 檢測對象氣體 | 半導體材料氣體(砷烷、磷化-氫、乙硼-烷、硅烷、氫氣) | ||||
| 檢測原理 | 熱線型半導體式 | ||||
| 采樣方式 | 自動吸引式 | ||||
| 砷烷 | 磷化-氫 | 乙硼-烷 | 硅烷 | 氫氣 | |
| AsH? | PH? | B?H? | SiH? | H? | |
| 可檢測泄漏量 [Pa·m3/s] | 2.53x10?? | 1.52x10?? | 1.01x10?? | 2.53x10?? | 5.07x10?? |
| 可檢測濃度 [μmol/mol] | 0.5 | 0.3 | 0.2 | 0.5 | 0.1 |
| 反應時間 | 10秒以內(探測的氣體為可檢測濃度的3倍時，靈敏度設定為[4]) | ||||
| 報警方式 | 發出斷斷續續的聲音及報警燈閃爍 | ||||
| 電源 | 5號堿性干電池(LR6)2節 | ||||
| 連續使用時間※1 | 約12小時(5號堿性干電池)[在常溫·常濕條件下] | ||||
| 保護等級※2 | IP22 相當※3 | ||||
| 使用壓力范圍 | 大氣壓(800~1100hpa) | ||||
| 使用溫濕度范圍 | 0C~40℃、85%RH以下(無結露現象) | ||||
| 外形尺寸 | W38xH130xD32mm(突出部分除外) | ||||
| 重量 | 約190g(包含電池、皮套) | ||||
| 標配附件 | 皮套、引導管過濾片、替換用過濾芯、導氣管、點檢氣體、手提掛繩、5號堿性干電池2節等 | ||||
※1. 根據不同環境條件、使用條件、保存期限、電池廠家，有時會有不同。
※2. 安裝皮套時。
※3. IP22相當是指機器內部危險場所附近所對應的保護構造(IP2X)、與垂直方向呈15°范圍內掉落的水滴不會引起機器內部異常的防浸水構造(IPX2)。
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