19938108760
產(chǎn)品中心
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測(cè)儀，XPS-7Ⅱ只需更換傳感器組件，即可檢測(cè)各種半導(dǎo)體材料氣體
產(chǎn)品分類(lèi)
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測(cè)儀
檢測(cè)對(duì)象
檢測(cè)范圍
檢測(cè)原理
檢測(cè)方式
應(yīng)用行業(yè)
日本NEW-COSMOS 新宇宙氣體檢測(cè)儀
產(chǎn)品描述：只需更換傳感器組件，即可檢測(cè)各種半導(dǎo)體材料氣體
01.產(chǎn)品特點(diǎn)
· 只需要更換傳感器單元就可以檢測(cè)各種對(duì)象氣體
· 用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行氣體檢測(cè)器校正
· 可以大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間
02.產(chǎn)品用途
· 半導(dǎo)體工廠(chǎng)/石油化學(xué)工廠(chǎng)等
· 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)
03.對(duì)象氣體
| 型號(hào) | 氣體 | 滿(mǎn)量程 |
| XDS-7NH | NH3 | 100μmol/mol |
| XDS-7SH | SiH4 | 25μmol/mol |
| XDS-7DC | SiH2Cl2 | 25μmol/mol |
| XDS-7AH | AsH3 | 250nmol/mol |
| XDS-7PH | PH3 | 1μmol/mol |
| XDS-7BH | B2H6 | 500nmol/mol |
| XDS-7SE | H2Se | 250nmol/mol |
| XDS-7GH | GeH4 | 1μmol/mol |
| XDS-7CL | Cl2 | 5μmol/mol |
| XDS-7CF | ClF3 | 1μmol/mol |
| XDS-7HC | HCl | 25μmol/mol |
| XDS-7HF | HF | 10μmol/mol |
| XDS-7HB | HBr | 10μmol/mol |
| XDS-7NO | NO | 100μmol/mol |
| XDS-7HS | H2S | 50μmol/mol |
| XDS-7CO | CO | 250μmol/mol |
| XDS-7DS | Si2H6 | 25μmol/mol |
| XDS-7F2 | F2 | 5μmol/mol |
| XDS-7OZ | O3 | 1μmol/mol |
| XDS-7SD | SO2 | 10μmol/mol |
| XDS-7ND | NO2 | 10μmol/mol |
| XDS-7NF | NF3 | 100μmol/mol |
04.產(chǎn)品參數(shù)
| 型號(hào) | XPS-7Ⅱ |
| 檢測(cè)對(duì)象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體 |
| 檢測(cè)原理 | 定電位電解式 |
| 檢測(cè)方式 | 泵吸引式 |
| 檢測(cè)范圍 | 根據(jù)規(guī)格而定 |
| 顯示分辨率※1 | 滿(mǎn)量程的百分之一或者兩百分之一 |
| 指示精度※2 | FS±10%以?xún)?nèi) |
| 報(bào)警模式 | 2段報(bào)警方式 |
| 報(bào)警方式 | 發(fā)出斷續(xù)聲及報(bào)警燈閃爍 |
| 應(yīng)答時(shí)間※2 | 60秒以?xún)?nèi)(60%應(yīng)答) |
| 濃度顯示方式 | LCD數(shù)字顯示 |
| 使用溫度范圍 | 0℃~40℃ |
| 電源 | 5號(hào)堿性干電池4節(jié)或?qū)Ｓ肁C適配器(選購(gòu)品) |
| 連續(xù)使用時(shí)間※3 | 連續(xù)12小時(shí)以上(使用堿性干電池、無(wú)報(bào)警、20℃時(shí)) |
| 外形尺寸 | W62xH150xD128mm(突出部分除外) |
| 重量 | 約1.3kg(不包含電池) |
| 標(biāo)配附件 | 肩帶、5號(hào)堿性干電池4節(jié)、過(guò)濾片2枚 |
| 選購(gòu)品※4 | 專(zhuān)用AC適配器(AC100~240V/DC6V)、傳感器專(zhuān)用通電臺(tái)、數(shù)據(jù)記錄收集套裝 |
※1. 根據(jù)氣體種類(lèi)不同，滿(mǎn)量程也會(huì)略有不同。
※2. 同一測(cè)量條件下。
※3. 根據(jù)不同環(huán)境條件、使用條件、保存期限、電池廠(chǎng)家，有時(shí)會(huì)有不同
※4. AC適配器、數(shù)據(jù)記錄收集套裝、以及EC-7不屬于CE范圍。
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